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●搭載盤の表面はSUS304とし、クリーンルーム内部に塵を出す心配はありません。また、特殊制振構造により、優れた振動減衰特性を有しています。|●さらに薄型になり、53mmと使いやすくなりました。|●自動高さ調整バルブの排気は一か所にまとめられて、背面の集中排気口より付属のウレタンチューブを通って排出されますので、クリーンルーム内の空気を汚すことはありません。|●多くの実績を有する50シリーズと同じ特殊小型空気ばねを採用。オリフィスによる大きな空気減衰とともに50シリーズと同じ優れた除振効果が得られます。