㈱ジェイテクトサーモシステム 高温イナートガスオーブン INHシリーズ INH-9N1
●豊富な実績をもとに無酸化雰囲気処理装置としては最高温度600℃を実現
●N2パージにより残留酸素濃度20ppm以下(※1)を達成
●冷却ブロアによる槽外冷却方式を採用
●オイルシールとシリコンシールで高い気密性を保持さらに水冷機構でシール部を熱から保護
●ガラス基板、セラミックの脱脂など、生産用として数多くの採用実績
●(※1)供給N2ガスの残留酸素濃度5ppm以下時
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●豊富な実績をもとに無酸化雰囲気処理装置としては最高温度600℃を実現
●N2パージにより残留酸素濃度20ppm以下(※1)を達成
●冷却ブロアによる槽外冷却方式を採用
●オイルシールとシリコンシールで高い気密性を保持さらに水冷機構でシール部を熱から保護
●ガラス基板、セラミックの脱脂など、生産用として数多くの採用実績
●(※1)供給N2ガスの残留酸素濃度5ppm以下時